对列阵、彩膜、成盒加工工艺进行了剖析，生产车间每条产品都生产。

　　分布在3个车间中的线VOC浓度分布情况如下：(a)列阵车间。

　　(a)Arrayworkshop。

　　在1~12月进行的中线浓度测试，其结果如图3所示。结果表明，阵列和CF车间产线4个位点的浓度分布情况基本一致，VCD抽压区(A4、B4)的VOCs浓度分布最大，且呈A3>A2>A1,B4>B3>B2>B1的趋势；通过分析生产流程得知，阵列车间产线Robot1向Coater1排出大量的有机废气，排入Coater1进行点胶，然后根据Robot2排入VCD1进行减压干躁，这一加工过程端会产生大量的有机废气，排入VOCs解决系统软件，这是由于门与机器机壳合合时存在间隙，造成(A4)处VOCs自由散发，因此VCD1排出区域VOCs浓度大于Coater1。类似地，彩膜车间产线与列阵车间产线一样，在VCD2抽压区VOCs浓度比点胶区(Coater2)较大。成箱车间3个位置的VOCs浓度波动平稳，产线VOCs分布较为均衡。

　　各加工工艺产线挥出的有机物，按照外扩散法稀释后，送到配对生产车间的每个角落，为掌握各主要生产车间的VOCs浓度状况，根据我国《公共场所卫生监测技术规范》，选择ppbRAE3000便携式VOC氧气检测仪，对列阵、成盒、彩膜3个车间的全部VOCs浓度进行1~12月的检测，得到各车间VOCs均值分布，如图4所示。3个车间的VOCs均值最大，波动范畴为(4.14~11.19)×10-6,3月份最高值为1.119×10-5；彩膜车间浓度次之，(4.56~9.70)×10-6；箱式车间浓度最低值为(1.96~7.88)×10-6。

　　在生产车间中，VOCs浓度受许多因素影响，如生产能力、胶料成分差异、机械设备密封性能差异、主要工艺参数差异等，这些因素都会导致产品VOCs浓度的波动。生产规模越大，点胶用量越大，清洗车间内的VOCs浓度越高，其中，生产能力是关键影响因素。例如，三月份的生产能力比二月份提高了30%，图4中的列阵、彩膜、盒式车间VOCs平均浓度分别提高了30%(2.05,1.90,1.15)×10-6。八月份成盒生产线VOC大幅下降的主要原因是八月份制造能力下降约5%。

　　列阵车间所用光刻胶成分比较单一，主要成分丙二醇单甲醚冰醋酸酯(PGMEA)占80%~90%，脲醛树脂占5%~15%；成盒车间关键应用的光刻胶成分比较复杂，有黑胶、红蓝绿(RGB)三色胶、OC胶、PS胶等，促使彩膜车间臭气更重，特对其进行科学研究。

　　用不同光刻技术对彩色胶片车间VOCs产线进行检测，结果见图5,1~12月一年期间，林卡尔绿胶片产线VOCs平均浓度总体最大，波动范围为(4.6~14.5)×10-6；红胶片、蓝胶片次之；黑胶片浓度总体最小，1~12月为(1.85~5.92)×10-6。

　　由表1可以看出，除含有丙二醇单甲醚冰醋酸酯、色浆、防腐剂、环氧树脂等成分的翠绿色光刻胶中含有大量的3-乙氧基丙酸乙酯和丙二醇单甲醚等化学物质外，其他胶体均没有这种化学成分，因此林卡绿胶产线的VOCs平均浓度较高很可能与这两个成分有关；同时，对比红、蓝、黑三种色光刻胶的组成发现，其基础化学成分基本一致，只有PGMEA等成分存在差异，黑胶的PGMEA含量比其它两种胶体少许多，仅占35%~45%，而红胶、蓝胶的含量分别为65%~73%,70%~79%，从图5中可以看出，丙二醇单甲醚冰醋酸酯的成分在洁净区内增长幅度最大。