TFT-LCD工业生产的关键步骤包括列阵、彩膜、制盒、摸组等，如图1所示。列阵制造工业厂房承担着列阵基钢板的生产制造，包括玻璃基板清理、PECVD、磁控溅射、光刻技术、离子注入、分离等工艺过程；彩色滤色片是TFT-LCD的关键部件，其基础结构由玻璃基板(GlassSubstrate)、灰黑色引流矩阵(BlackMatrix)、彩色层(ColorLayer)、防护层(OverCoat)和ITO导电膜等组成；盒体是列阵基钢板和彩色滤色片经清理、表层涂装(PI)到原材料(PI)上，经过干固、磨擦处理，分别在CF玻璃基板和列阵基钢板上施胶、封框胶，然后分别在LCD上涂装、干固、封框，最后在LCD上涂装。

　　在TFT-LCD生产过程中，工业废气引起列阵车间涂PI液、色膜车间涂PI液、RGB涂胶、防护膜(OC)、PS膜及成盒车间涂PI液等工序，而TFT-LCD在生产过程中造成了涂光、脱色和工业废气。VOCs排放方式分为两种，一种是有机构排放，有机废气在车间内根据负压力收集系统软件排污到平顶的工业废气解决系统软件进行点火处理；另一种是无组织排放，生产车间内没有收集到的工业废气部分根据通风冷却装置逃逸；还有一种是VOCs污水、废水和固体废弃物无组织排放的处理方式。洁净生产车间VOCs异味严重，为确保员工的身心健康和工作效能，保证?员工学会放下对异味的担忧，特对各生产工艺流程VOCs无组织排放情况进行监督，并采取有效对策降低车间VOCs浓度值。

　　根据我国《公共场所卫生监测技术规范》的规定，检测所用仪器为英国华瑞ppbRAE3000便携式VOCs检测仪，该仪器具有200种不同的气泡体，能灵活地反映所使用的检测范围，达到1×10-9~1×10-2，对TFT-LCD加工过程中产生的N-羟基甲酰胺、丙二醇甲醚冰醋酸酯(PGMEA)、乙酸丁酯、乙二醇单甲醚、N-羟基吡咯烷酮(PGMEA)等化学物质进行检测。图2列阵、色膜、制盒工艺产线VOCs检测定位点遍布。

　　由于TFT-LCD工业化生产全过程中，挥发性有机物的关键成分来自光刻技术和PI液的应用产线，如列阵车间的涂胶(Track)线，彩膜车间的涂胶设备线，以及PI液成盒喷涂生产线，所以这类产线上的检验点关键设置，如图2所示。阵列车间涂胶线采用PGMEA光刻胶组分，根据加工工艺构造，每条线设4个检验定位点，分别为Robot区(A1)、涂胶区(A2)和Robot区(A3)。彩膜车间应用VCD抽压区(A4)，光刻胶组分十分复杂，有灰黑色胶(BM)，绿红和蓝三色胶(RGB),OC,PS等加工工艺产线，其生产工艺结构与列阵涂胶线相似，每条线也设4个监测点，分别为罗布区(B1)，罗布区(B2)，罗布区(B3),VCD抽压区(B4)。PI液成分主要为N-羟基吡咯烷酮，根据其加工工艺构造，在成盒车间内每条线上设置3个监测点，分别为Robot区(C1)、PI液喷漆区(C2)、Robot区(C3)。为了深入分析VOCs的分布和模拟模拟工作人员很可能吸收的标准，验证定位点高宽比均在1.5m(吸气带高宽比)。