为了抓住和掌握TFT-LCD领域加工过程中各加工工序阶段VOCs排放的特点,以中国某TFT-LCD生产企业为例,对VOCs在各生产车间的分布情况进行研究。研究结果表明:列阵车间VOCs浓度均值最大,波动范围在4.14~11.19×10-6(1~12月)之间;彩色薄膜车间VOCs浓度均值在4.6~14.50×10-6(1~12月)之间;列阵和CF车间VOCs浓度均值在4.6~14.50×10-6(12月)之间;TFT-LCD车间VOCs浓度均值在4.6~14.50×10-12之间;列阵和CF车间VOCs浓度均值在TFT-LCD车间VOCs浓度均值挥发性有机物(VOCs)是产生细颗粒物(PM2.5)、活性氧(O3)等二次空气污染物的重要前驱物质,对大气环境造成了雾霾和光化学污染。VOCs不仅危害自然环境,而且对人体健康也有一定的危害。在此阶段,我国早已成为世界电子产品消费大国,同时也是世界电子产品生产制造基地。电子业TFT-LCD在整个生产加工过程中会使用到很多溶剂(如PGMEA、N-羟基甲酰胺、等离子等),导致挥发性有机物大量排放,这类有机物成分非常复杂,主要成分的化学成分没有国家职业质量标准的限值要求和检测方法?,VOCs受到越来越多的关注。
对电子器件有机废气VOCs排放的一般特征进行了研究,探讨了防止对策;对加工过程中电子设备的有机物排放进行了干燥研究,结果表明,与商品生产流水线排放不同的VOCs排放与车间有机废气的浓度差异很大;研究了净化车间VOC的操作计划方案,从根本上说明了减少VOCs排放的操作计划方案;根据TFT-LCD生产企业VOCs排放研究,发现VOCs排放空气污染物主要为丙二醇单甲醚冰醋酸酯及其少量挥发酚。目前我国对VOCs的研究大多处于宏观经济阶段,针对TFT-LCD加工各个工序VOCs浓度分布情况以及如何减少清洁车间VOCs排放的对策研究很少。
本文以一家TFT-LCD生产制造企业为例,研究了加工过程中各加工工艺VOCs浓度分布情况,并选择沸石转轮吸咐技术对清洁生产车间VOCs进行收集解决,对解决前后车间VOCs浓度进行对照分析,为事后明确提出减少VOCs的解决对策提供了相对依据。